日本napson嵌入非接觸式電阻測量模塊

• 可以集成到用戶生產(chǎn)線或傳輸機(jī)器人中的測量模塊
• 根據(jù)所需的電阻測量范圍確定探頭數(shù)和探頭類型
• 通過局域網(wǎng)連接將命令/測量數(shù)據(jù)傳送到主機(jī)PC
• 可以集成到用戶生產(chǎn)線或傳輸機(jī)器人中的測量模塊
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測量規(guī)格

測量目標(biāo)

半導(dǎo)體/太陽能電池材料相關(guān)（硅，多晶硅，SiC等）
 新材料/功能材料相關(guān)（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
 導(dǎo)電薄膜相關(guān)（金屬，ITO等）
 硅基外延，離子與
 半導(dǎo)體相關(guān)的注入樣品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
 其他（*請(qǐng)與我們聯(lián)系）

測量尺寸

2-8英寸，?156 x 156毫米
（可選;?12英寸，?210 x 210毫米）

測量范圍

[電阻] 1m至200Ω·cm 
（*所有探頭類型的總范圍/厚度500um）
[板電阻] 10m至3kΩ / sq 
（*所有探頭類型的總范圍）
[厚度] 500至約800μm

*有關(guān)每種探頭類型的測量范圍，請(qǐng)參閱以下內(nèi)容。

（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-??cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）

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