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產(chǎn)品資料
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日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列
本產(chǎn)品是一種換能器型多離子量規(guī),可以連接不同量程的測(cè)針。
在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中,“由于一個(gè)探針的故障,必須*更換一個(gè)探針"“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障"我們經(jīng)常聽到客戶說“很貴"。
使用這種方法,可以進(jìn)行寬帶測(cè)量,大大降低了運(yùn)行成本,并支持低環(huán)境負(fù)荷。

日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列 的詳細(xì)介紹

日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列

 

GMi系列的特點(diǎn)

  • 廣域測(cè)量可以測(cè)量
    從大氣壓到高真空區(qū)域(10 5至5×10 -8 Pa)(當(dāng)同時(shí)使用GPM和GAM時(shí))。
  • 可以連接不同量程的探頭,使用
    多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。
  • 準(zhǔn)確的大氣壓測(cè)量
    輕松,準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓(使用GAM時(shí))
  • 低環(huán)境負(fù)荷
    可以降低運(yùn)行成本,因?yàn)橹挥性谛枰獣r(shí)才可以更換觸點(diǎn)。

  • 配備能檢查異常情況的LED,提高了可見度

  • 易于維護(hù)可更換探頭
  • 每種模式(組合模式)的
    規(guī)格GMi + GPM(離子計(jì)+皮拉尼表)
    GMi + GPM + GAM(離子計(jì)+皮拉尼表+大氣壓傳感器)
  • 測(cè)量值輸出信號(hào)
    壓力為0-10V輸出(對(duì)數(shù)輸出)
  • 控制輸出信號(hào)
    設(shè)定值3點(diǎn)可輸出(GMi-1)
  • 可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
    RS232C / RS485通訊(GMi-2)
  • 符合
    CE標(biāo)準(zhǔn)

  • 用于各種制造設(shè)備(例如太陽(yáng)能電池,F(xiàn)PD,半導(dǎo)體和電子零件)的高真空區(qū)域中的過程控制
  • 在具有多個(gè)處理腔室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域(例如在線型和單晶圓型)中確定極限壓力
  • 高真空/超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量

規(guī)范

模型GMi-1GMi-2
規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格串行通訊規(guī)格
自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器M34(NW16),M35(NW25)
可連接的傳感器多離子壓力計(jì)傳感器:1個(gè)
皮拉尼壓力計(jì)GPM:1個(gè)(可選)
大氣壓傳感器GAM:1個(gè)(可選)
采樣時(shí)間70毫秒4倍移動(dòng)平均處理
測(cè)量值輸出輸出電壓DC 0至10 V,對(duì)數(shù)輸出0.75 V / 1位
壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×(Log P-2)P = 10 ^ {(V-7.25)/ 0.75 + 2} 
*用于設(shè)定點(diǎn)調(diào)整也用作輸出電源(僅適用于GMi-1)
更新時(shí)間50毫秒
控制輸入??信號(hào)FIL ON / OFF,F(xiàn)IL 1/2,DEGAS ON / OFF以
集電極開路輸入,負(fù)邏輯運(yùn)行

* FIL ON / OFF信號(hào)的使用取決于模式。

--
控制輸出信號(hào)傳感器錯(cuò)誤,設(shè)定點(diǎn)1/2/3 
發(fā)射有效
燈絲功率監(jiān)控
額定值:24 VMAX,50 mAMAX,
飽和電壓1 V
--
串行通訊規(guī)格--RS232C / RS485
LED顯示屏電源/錯(cuò)誤:電源和錯(cuò)誤指示燈(閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化)
FIL:發(fā)射有效的指示燈
SET1:設(shè)定點(diǎn)1 LED 
SET2:
設(shè)定點(diǎn)2 LED SET3:設(shè)定點(diǎn)3 LED
--
發(fā)射電流1 mA(1×10 -3 Pa或更小),10 µA
德加斯電子沖擊解吸方法(電子轟擊)1 mA,330 V
傳感器耐壓2 x 10 5 Pa(壓力)*法蘭和夾具的耐壓力必須分開考慮
傳感器內(nèi)部容積34厘米3(M34)
工作溫度極限10?50℃
工作濕度范圍15-80%(但是,無(wú)凝結(jié))
貯存溫度-20至65°C(斷電時(shí)不結(jié)露)
IP防護(hù)等級(jí)IP30
電源電壓20至28 V DC(紋波,噪聲1%或更低)19 W或更低(電源打開時(shí)為156 W)
I / O連接器D-sub15針(M2.6螺絲)
大眾控制器:約530 g,BA探針(M34):63 g
外形尺寸W xD x H(mm)144 x 75 x 62以下(控制器部分)
符合標(biāo)準(zhǔn)CE認(rèn)證
選項(xiàng)電源/錯(cuò)誤:多離子計(jì)傳感器M34(NW16),M35(NW25)
材質(zhì):長(zhǎng)絲1 lr / Y 2 O 3涂層,長(zhǎng)絲2 W(鎢)
其他Pt C Mo,SUS,W
皮拉尼規(guī)SPU
皮拉尼儀表傳感器WP-16(NW16)
材料:細(xì)絲鉑,其他BS / Ni,電鍍,鎳,焊料
大氣壓傳感器GAM(NW16)材質(zhì):SUS316L
單元電纜GPM為0.5毫米
GAM為0.5毫米
顯示單位1 CH:ISG1型(使用DC 24 V電源)
4 CH:IM1R1型(使用DC 24 V電源)
            IM2R1型(使用AC 100 V電源)
顯示電纜GMi和顯示單元之間的電纜
2 m,5 m,10 m,15 m

每種模式的規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種用途中選擇:多離子壓力計(jì)單模,帶皮拉尼壓力計(jì)的組合模式以及帶皮拉尼壓力計(jì)和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式GMi-1 / GMi-2 
獨(dú)立模式
GMi-1 / GMi-2 + GPM
コンビネーションモード
GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM
コンビネーションモード
測(cè)定圧力範(fàn)囲5 × 10-8 ~ 1 × 101 Pa5 × 10-8 ~ 1 × 104 Pa5 × 10-8 ~ 1 × 105 Pa
測(cè)定精度5 × 10-8 ~ 1 × 101 Pa± 15 %5 × 10-8 ~ 1 × 103 Pa:± 15 %
1 × 103 ~ 3.0 × 103 Pa:± 30 %
3.0 × 103 ~ 1.0 × 104Pa:精度保証なし
5×10 -8至1×10 3 Pa:±15%
1×10 3至3.0×10 3 Pa:±30%
3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa:無(wú)精度保證
1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa:±3%FS 
(3×10 3 Pa,參考溫度25°C)
重復(fù)性1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa:Pa±2%
接線圖(示例)GMi-1 / GMi-2 <獨(dú)立模式GMi-1 / GMi-2 + GPM組合模式GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM組合模式

尺寸圖

探頭的外形尺寸

單位:毫米
*規(guī)格或建議零售價(jià)如有變更,恕不另行通知。

日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列

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