日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）

產(chǎn)品名稱(chēng): 日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）

產(chǎn)品型號(hào):

產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）
ESV系列的功能
該系列采用ESV-6或以下的環(huán)形加熱器和ESV-8或以上的內(nèi)部熱式護(hù)套加熱器，以從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力。防止因撞油而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列由于提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運(yùn)行時(shí)間短，排量大和臨界背壓高的優(yōu)點(diǎn)。它還需要較少的液壓油。

日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型） 的詳細(xì)介紹

日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）

使用例

各種真空爐
各種實(shí)驗(yàn)的排氣裝置
管材制造設(shè)備
各種成膜設(shè)備
電子束焊接
電子顯微鏡

ESV系列陣容

模型		單元	ESV-3	ESV-4	ESV-6
大抽速		升/秒	380	580	1,200
極限壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?0.4
臨界背壓		帕	40	40	40
大排量		帕升/秒	93	190	260
用油			高腰F-4	高腰F-4	高腰F-4
油量		大號(hào)	0.12	0.18	0.3
墊片			維通	維通	維通
加熱器	格式		云母帶	云母帶	云母帶
	電壓，相	ACV，相	200，1	200，1	200，1
	格式	千瓦	0.55	0.75	1.2
錄取			VG80	VG100	VG150
輔助口			VG25	VG25	VG50
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	1.1	1.5	2
輔助泵			DRP-360Ⅲ或RP-360Z	DRP-800或RP-800ZⅡ	DRP-800或RP-800ZⅡ
擋板格式			3C（雪佛龍）	4C（雪佛龍）	6C（雪佛龍）
帶擋板的抽速		升/秒	165	240	450
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	1.1	1.5	2
機(jī)油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-8
材料	圓筒		不銹	不銹	不銹
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	8.5	11	20

模型		單元	ESV-8	ESV-10	ESV-12
大抽速		升/秒	2,000	3,000	4,500
極限壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-5?0.4
臨界背壓		帕	46	40	37
大排量		帕升/秒	400	460	800
用油			高腰F-4	高腰F-4	獅子A
油量		大號(hào)	0.6	1個(gè)	1個(gè)
墊片			維通	維通	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200，1	200、3	200、3
	格式	千瓦	1.6	2.5	3.2
錄取			VG200	VG250	VG300
輔助口			VG50	VG50	VG80
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	2.5	五	6
輔助泵			DRP-1500或RP-1200ZⅡ	DRP-1500或RP-1200ZⅡ	RP-1200ZII x 2
擋板格式			8C（雪佛龍）	10C（雪佛龍）	12C（雪佛龍）
帶擋板的抽速		升/秒	800	1,200	1,800
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	2.5	五	6
機(jī)油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-7
材料	圓筒		不銹	不銹	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	二十五	45	55

[ESV-3]
帶擋板和油
[ESV-4]
帶擋板和油

[ESV-6]
帶擋板和油
[ESV-8]
帶擋板和油

[ESV-10]
帶擋板和油
[ESV-12]（定做）
帶擋板和油

*規(guī)格和建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。

預(yù)防措施

我們的油旋轉(zhuǎn)真空泵是根據(jù)以下用途設(shè)計(jì)和制造的。
（1）進(jìn)氣類(lèi)型空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ...）
（2）進(jìn)氣溫度5-40 ℃
（3）環(huán)境溫度5- 40°C
（4）常壓10 ^-6至0.4Pa
*如果與上述用法不同，請(qǐng)與我們聯(lián)系，因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致泵故障。
排出腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₄，HBr等）時(shí)，可能會(huì)發(fā)生油質(zhì)劣化或未達(dá)到極限壓力的零件腐蝕，從而延長(zhǎng)泵的使用壽命請(qǐng)注意，將會(huì)縮短。
本目錄中的性能表會(huì)根據(jù)我們的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量測(cè)試和檢查。
因此，它與設(shè)備內(nèi)置的性能值不同。
ESV-12或更高版本的油擴(kuò)散真空泵涂有耐熱銀粉。
擴(kuò)散油當(dāng)
使用標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)散油以外的擴(kuò)散油時(shí)，擴(kuò)散油的
比熱可能會(huì)不同，因此可能無(wú)法發(fā)揮出油擴(kuò)散真空泵的原始性能。
泵冷卻將
油擴(kuò)散真空泵的冷卻水溫度作為參考，在5至25°C的范圍內(nèi)。
如果冷卻水的溫度過(guò)高，將無(wú)法有效地冷卻以蒸汽噴射方式噴射到泵內(nèi)壁的機(jī)油，這會(huì)影響泵的性能，例如增加機(jī)油的反向流量。
另外，為了保證冷卻水的質(zhì)量，請(qǐng)使用制量醉高的水。
如果使用水質(zhì)較差的水，則泵冷卻導(dǎo)管的內(nèi)部將被堵塞，并且異常高的溫度將引起諸如泵性能差和冷卻導(dǎo)管焊接不冷卻之類(lèi)的問(wèn)題。
作為一種措施，當(dāng)冷卻管內(nèi)部發(fā)生堵塞，且冷卻水不流動(dòng)時(shí)，請(qǐng)使用市售的管道清潔劑等，并清除內(nèi)部堵塞。
如果上述措施仍不能解決問(wèn)題，則需要更換冷卻導(dǎo)管，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
*在寒冷地區(qū)使用后請(qǐng)除去水。它可能會(huì)凍結(jié)并損壞。
*如果還有其他疑問(wèn)，請(qǐng)與我們聯(lián)系。