日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵FS-N 系列
高速沖程
高速沖程 (FS-80Ngao達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。
無污染設計
過流端采用氟樹脂無污染構造,使用*的軸封顯著降低顆粒的產生。
高流量及高吐出壓力
大吐出量高達0.7MPa,不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅動系統(tǒng)
內置式開關通過傳感器驅動系統(tǒng)打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。
日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵FS-N 系列
規(guī)格
大吐出量 | 100 L/min | ||||||||||||
大吐出壓力 | 0.7 MPa | ||||||||||||
大耗氣量 | 1495 NL/min | ||||||||||||
大沖程率 | 100 spm | ||||||||||||
主要材質 | PTFE, PFA | ||||||||||||
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 60 °C 高速沖程 高速沖程 (FS-80Ngao達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。 無污染設計 過流端采用氟樹脂無污染構造,使用*的軸封顯著降低顆粒的產生。
高流量及高吐出壓力 傳感器驅動系統(tǒng) 內置式開關通過傳感器驅動系統(tǒng)打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。 規(guī)格
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