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迷你臺(tái)棱鏡半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜的特點(diǎn)

迷你臺(tái)棱鏡半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜的特點(diǎn)

半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜 最高2000°C

迷你工作臺(tái)增加了PLC自動(dòng)序列以提高
可操作性[迷你工作臺(tái)棱鏡(迷你工作臺(tái)棱鏡)]

真空置換爐

最高2000°C

還原氣氛爐

最高2000°C




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PLC半自動(dòng)控制 自動(dòng)順序控制(手動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量→針閥)
半自動(dòng)控制型電爐操作的自動(dòng)順序控制 臺(tái)式型號(hào) “抽真空"和“排氣
" Mini-BENCH監(jiān)測冷卻水異常、腔室溫度異常和超壓異常。 由SUS堅(jiān)固的水冷室制成,即使在最高溫度下連續(xù)使用也可以安全使用。

特征

  • 節(jié)省空間:603(闊)x 603(深)x 1,170(高)mm

  • PLC半自動(dòng)操作:(抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣)

  • 聯(lián)鎖(冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關(guān)閉)

  • 圓柱形加熱器(用于坩堝)、平面加熱器(用于晶圓燒制)

  • 工作氣氛:真空、惰性氣體、還原性氣氛

原理圖規(guī)格


 真空和氣體置換爐(碳爐)還原氣氛爐(金屬爐)
最高工作溫度最高2000°C
加熱器石墨或C/C復(fù)合加熱器鎢加熱器
絕緣石墨氈材料鎢屏蔽層,氧化鋁絕緣
真空室SUS304水冷夾套結(jié)構(gòu),頂部裝載,線性驅(qū)動(dòng)可打開(Φ3,僅4英寸)
使用氛圍在真空或惰性氣體(Ar、N2)中在真空中,惰性氣體(Ar,N2),還原氣體(H2等)
有效加熱范圍Φ1“~ Φ4"(用于晶圓片進(jìn)料燒制的平面加熱器),或 -Φ80 x 深度 最大100 (H) mm (圓柱形加熱器)
極限真空度1x10-2 帕斯卡(* 用于空爐)
真空泵旋轉(zhuǎn)泵(可選:干泵、高真空泵)
熱電偶包括C型熱電偶
聯(lián)鎖腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水減少、腔室打開和關(guān)閉
公用設(shè)施和冷卻水加熱器額定值最大 6KVA(* 取決于加熱范圍尺寸),冷卻水 3 升/分鐘 0.4Mpa


加熱器

 

  • 平面加熱絲(用于晶圓):C / C復(fù)合材料(或鎢)

  • 圓柱形加熱絲(用于坩堝):C / C復(fù)合材料(或鎢)

* 根據(jù)加熱范圍的尺寸,通過組合平面加熱器和圓柱形加熱器,可以在整個(gè)坩堝中均勻加熱。


聯(lián)系人:林經(jīng)理
地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
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