日本psts太陽(yáng)電池用硅片有效載流子測(cè)量裝置"VWECER-100-S"
與傳統(tǒng)類(lèi)型的常規(guī)產(chǎn)品不同,該產(chǎn)品具有
小型化的臺(tái)式機(jī)尺寸,可以一次測(cè)量晶圓。
太陽(yáng)電池用硅片有效載流子測(cè)量裝置"VWECER-100-S"使用東北大學(xué)金屬材料研究所開(kāi)發(fā)的新技術(shù)“HS-CMR法”,測(cè)量硅片的質(zhì)量。由于可以在硅片階段就能準(zhǔn)確判定質(zhì)量、進(jìn)行識(shí)別,就可以避免將質(zhì)量低的硅片投入到電池生產(chǎn)線(xiàn)中。由此,就減少了電池生產(chǎn)工序的浪費(fèi),使成品率的提高成為可能。
VWECER-100-S可以對(duì)硅片中與能量轉(zhuǎn)換效率相關(guān)的所有要素(電子、空穴、缺陷、雜質(zhì)等)進(jìn)行綜合性測(cè)量,能用1個(gè)參數(shù)準(zhǔn)確測(cè)量影響發(fā)電的有效載流子數(shù)。VWECER-100-S的測(cè)量結(jié)果直接關(guān)系到將硅片制造成太陽(yáng)電池時(shí)的轉(zhuǎn)換效率??梢园延赡恳暉o(wú)法確認(rèn)的硅片太陽(yáng)電池的性能作為“潛在轉(zhuǎn)換效率”測(cè)量。由于可以進(jìn)行識(shí)別,不將潛在轉(zhuǎn)換效率低的硅片用在電池生產(chǎn)線(xiàn)上,可以大幅度減少生產(chǎn)成本。另外,通過(guò)明確了以前無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量的硅片內(nèi)有效載流子數(shù),也對(duì)太陽(yáng)電池中重要的技術(shù)之一的“PN結(jié)技術(shù)”的改善有所幫助。
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